高纯气体对于不同类别的气体,纯度指标不同,例如对于氮,氢,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;而对于氧气,纯度为99.99%即可称高纯氧;对于碳氢化合物,纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽,在半导体工业,高纯氮、氢、氦可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的底气。色谱分析检测过程中,马鞍上气体,气相色谱仪对所用的气体纯度有较高的要求,为既达到工作要求,又能延长仪器寿命,所用气体的纯度要达到或略高于仪器自身对气体纯度的要求;否则,工业气体,若使用不符合要求的低纯度气体,会造成一系列不良影响。
高纯气体必须满足2 个条件:1、主体成分含量必须大于某一定值。2、各杂质组分含量必须小于某一定值。 电子工业用气、仪器仪表校准用的零点气、标准气配制用气、色谱载气等均需满足以上要求, 可列为高纯气体。理论上, 高纯气体的纯度= 主体成分含量= 1-∑ 杂质含量。事实上, 用实验方法直接准确测定高纯气体中主体成分含量是非常困难的。既使象二氧化碳这类产品, 可以通过规定的方法,氧气体, 直接测定得到“纯度值”, 但该值也包含有水分、酸性气体及其它与强碱作用的成分。所以说, 该“纯度”也并非理论意义上的气体纯度。而另外一种通过测定气体中所含有的所有杂质成分, 计算求得气体纯度(理论纯度) 的方法, 同样难以实现。